| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR SUPPLYING GAS TO VACUUM VESSEL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0593272(A) |
申请公布日期 |
1993.04.16 |
| 申请号 |
JP19910278333 |
申请日期 |
1991.09.30 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SAKUMA HARUNOBU;HIURA KAZUO |
| 分类号 |
C23C16/00;C23F4/00;H01L21/302 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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