发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0562925(A) 申请公布日期 1993.03.12
申请号 JP19910219112 申请日期 1991.08.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKAKURA TOSHIHIKO;TAKAHASHI TAKESHI;TANEOKA TADAYUKI;AKIMORI HIROKO;NISHIZAWA HIROTAKA
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/331;H01L23/52;H01L29/73 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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