发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0555360(A) 申请公布日期 1993.03.05
申请号 JP19910213534 申请日期 1991.08.26
申请人 SHARP CORP 发明人 HOTTA MASAYOSHI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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