| 发明名称 |
VAPOR GROWING APPARATUS AND OPERATING METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0521359(A) |
申请公布日期 |
1993.01.29 |
| 申请号 |
JP19910172941 |
申请日期 |
1991.07.15 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
ISHIHARA AKIRA;TABEI KOICHI |
| 分类号 |
C30B25/12;H01L21/205;H01L21/26 |
主分类号 |
C30B25/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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