发明名称 MANUFACTURE OF DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04349620(A) 申请公布日期 1992.12.04
申请号 JP19910149201 申请日期 1991.05.27
申请人 DENKI KAGAKU KOGYO KK 发明人 NISHINAGA NOBU;SAKAWA MORIKAZU
分类号 H01L21/20;H01L21/208 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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