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发明名称 METHOD OF AND DEVICE FOR INSPECTING PATTERN OF PRINTED CIRCUIT BOARD
摘要
申请公布号 US5161202(A) 申请公布日期 1992.11.03
申请号 US19910731851 申请日期 1991.07.16
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO. LTD. 发明人 KITAKADO, RYUJI;YANO, HIRONOBU;HOKI, TETSUO
分类号 G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;G01R31/308;G06T1/00;G06T7/00;H05K3/00 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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