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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04230041(A) 申请公布日期 1992.08.19
申请号 JP19900416010 申请日期 1990.12.27
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 IKE MASAHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/306;H01L21/338;H01L21/66;H01L29/778;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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