发明名称 HIERARCHICAL ARRANGEMENT PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH04141778(A) 申请公布日期 1992.05.15
申请号 JP19900265405 申请日期 1990.10.03
申请人 HOKURIKU NIHON DENKI SOFUTOUEA KK 发明人 ISHIMORI AKIO
分类号 H01L27/04;G06F17/50;H01L21/82;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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