发明名称 SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH04131710(A) 申请公布日期 1992.05.06
申请号 JP19900254568 申请日期 1990.09.25
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 SAITO KEISUKE;TAZAKI HIROSHI;FUNAZAKI JUN;NAKAMURA YASUSHI;KAJIMURA HIROSHI;TOMABECHI HIDEO
分类号 G01B11/30;G01B21/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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