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发明名称 UPRIGTH HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04120724(A) 申请公布日期 1992.04.21
申请号 JP19900241968 申请日期 1990.09.12
申请人 TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD 发明人 ASANO TAKAYASU
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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