发明名称 MANUFACTURE OF METAL PROTRUSION FORMED SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0437045(A) 申请公布日期 1992.02.07
申请号 JP19900143196 申请日期 1990.05.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YOSHIDA TAKAYUKI;KAWAKITA TETSUO;HATADA KENZO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址