| 发明名称 |
DEVICE FOR PRODUCING SILICON SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03295891(A) |
申请公布日期 |
1991.12.26 |
| 申请号 |
JP19900098583 |
申请日期 |
1990.04.13 |
| 申请人 |
NKK CORP |
发明人 |
KAMIO HIROSHI;ARAKI KENJI;KANETO TAKESHI |
| 分类号 |
C30B15/04;C30B15/00;C30B15/12;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
