发明名称 METHOD FOR ANALYZING OPERATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND PRESCRIBED PHYSICAL PHENOMENON AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH03253056(A) 申请公布日期 1991.11.12
申请号 JP19900049484 申请日期 1990.03.02
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NAKAMURA SHIN;KURATA MAMORU
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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