发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03171777(A) 申请公布日期 1991.07.25
申请号 JP19890311333 申请日期 1989.11.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TSUNODA TETSUJIRO
分类号 H01L21/263;H01L21/336;H01L29/32;H01L29/739;H01L29/74;H01L29/744;H01L29/78 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
主权项
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