发明名称 CONTINUOUS VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03120363(A) 申请公布日期 1991.05.22
申请号 JP19890257719 申请日期 1989.10.04
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 TAGUCHI TOSHIO;OKITA HAJIME;KAMIKAWA SUSUMU;HAMANISHI YASUSHI
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
地址