发明名称 Oxide bonded semiconductor wafer utilizing intrinsic and degenerate material
摘要
申请公布号 US3354354(A) 申请公布日期 1967.11.21
申请号 US19640354240 申请日期 1964.03.24
申请人 RADIO CORPORATION OF AMERICA 发明人 AMICK JAMES A.
分类号 H01L21/00;H01L21/18;H01L23/29;H01L27/06 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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