ACCELEROMETER WITH COPLANAR PUSH-PULL FORCE TRANSDUCERS.

摘要

Dans un accéléromètre symétrique, les deux transducteurs de force (30, 32) se situent sur un même plan. Lorsqu'ils sont mis en oeuvre dans un dispositif micro-usiné en silicium, les deux transducteurs peuvent ainsi être fabriqués en une seule couche de cristal (34), ce qui permet d'obtenir des transducteurs avec des réponses à des modes communs étroitement ajustées.