发明名称 |
Moisture barrier for organic dielectrics. |
摘要 |
Hermetisch abdeckende und gut haftende Feuchtesperren für organische Dielektrika in integrierten Schaltungen, die auch eine einfache Strukturierung der Dielektrika erlauben, bestehen aus einer dünnen Schicht aus amorphem, wasserstoffhaltigem Kohlenstoff. |
申请公布号 |
EP0381109(A2) |
申请公布日期 |
1990.08.08 |
申请号 |
EP19900101716 |
申请日期 |
1990.01.29 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
BIRKLE, SIEGFRIED, DR.;KAMMERMAIER, JOHANN, DR. |
分类号 |
H01L21/56;H01L23/29;H01L23/31 |
主分类号 |
H01L21/56 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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