| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING COMPOUND SEMICONDUCTOR BY BOAT GROWTH METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02141489(A) |
申请公布日期 |
1990.05.30 |
| 申请号 |
JP19880293335 |
申请日期 |
1988.11.19 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MONSANTO CHEM CO;MITSUBISHI KASEI CORP |
发明人 |
FUJII KATSUSHI;ORITO FUMIO;ISHIDA MIKITOSHI |
| 分类号 |
C30B11/00;C30B29/40;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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