| 发明名称 |
METHOD OF FORMING RESIST FOR PLATING AND ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02103050(A) |
申请公布日期 |
1990.04.16 |
| 申请号 |
JP19890111886 |
申请日期 |
1989.04.28 |
| 申请人 |
E I DU PONT DE NEMOURS & CO |
发明人 |
MANFUREETO ADERUHARUTO YOOZEFU ZONDAAGERUTO |
| 分类号 |
G03F7/027;C23F1/00;G03F7/033;G03F7/105 |
主分类号 |
G03F7/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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