| 发明名称 |
APPARATUS FOR FINE ADJUSTMENT OF UNIT FOR REFERENCE SYSTEM AND DOUBLE LENS MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6470716(A) |
申请公布日期 |
1989.03.16 |
| 申请号 |
JP19880209615 |
申请日期 |
1988.08.25 |
| 申请人 |
CENTRE SWISS ELECTRON E DE MIKUROTEKUNIKU SA |
发明人 |
FUUBERUTO SHIYOTSUFUA |
| 分类号 |
G02B7/04;B23Q1/36;G02B21/22;G02B21/24;H01L41/09 |
主分类号 |
G02B7/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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