发明名称 EPITAXY FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR ON SUBSTRATES OF DIFFERENT KINDS
摘要
申请公布号 JPS6321286(A) 申请公布日期 1988.01.28
申请号 JP19860167321 申请日期 1986.07.16
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 SAKAGUCHI HARUNORI;KUMA SHOJI;KURATA KAZUHIRO
分类号 C30B19/00;C30B19/12;C30B29/40;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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