发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR THIN FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS636835(A) |
申请公布日期 |
1988.01.12 |
申请号 |
JP19860149550 |
申请日期 |
1986.06.27 |
申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
HIRUMA TAKEYUKI;ONO YUICHI;SAKAGUCHI HARUNORI |
分类号 |
H01L21/205;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/80;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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