| 发明名称 |
CONVEYING METHOD FOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6290945(A) |
申请公布日期 |
1987.04.25 |
| 申请号 |
JP19860226182 |
申请日期 |
1986.09.26 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TAKIGUCHI MASAYUKI;SATO KUNIO;HOJO YUTAKA |
| 分类号 |
B65H5/02;B65G47/68;B65G49/07;B65H29/60;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
B65H5/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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