| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6225420(A) |
申请公布日期 |
1987.02.03 |
| 申请号 |
JP19850164801 |
申请日期 |
1985.07.25 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SATO RYUICHI;NUMATA MASANORI;HAMAZAKI FUMIYOSHI;AYADA NAOKI |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/20;G03F7/22;H01L21/02;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
