| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR POSITIONING AND CORRECTING MECHANICAL MOTION AT TIME WHEN WORK IS MACHINED BY SCRIBING-LASER BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6138790(A) |
申请公布日期 |
1986.02.24 |
| 申请号 |
JP19850149392 |
申请日期 |
1985.07.09 |
| 申请人 |
FUERA EE UURUMAN AG FUR GEDORIYUTSUKUTE SHIYARUTOUNGEN |
发明人 |
JIYAN MISHIERU MAIOORU;YURUKU SHIYUTETSUFUEN;PEETERU UYUTORITSUHI |
| 分类号 |
B23K26/08;B23K26/02;H01L21/3205;H01L23/52 |
主分类号 |
B23K26/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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