| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET BELICHTEN VAN EEN HALFGELEIDERPLAK DOOR MIDDEL VAN EEN KWIKDAMPLAMP EN EEN INRICHTING VOOR HET UITVOEREN VAN DE WERKWIJZE. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL8501935(A) |
申请公布日期 |
1986.02.03 |
| 申请号 |
NL19850001935 |
申请日期 |
1985.07.05 |
| 申请人 |
USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA TE TOKIO, JAPAN. |
发明人 |
|
| 分类号 |
G03F7/20;H01J61/20;H01J61/82;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
