| 发明名称 |
PATTERN DATA HANDLING SYSTEM FOR AN ELECTRON BEAM EXPOSURE SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2108290(B) |
申请公布日期 |
1985.10.16 |
| 申请号 |
GB19820028264 |
申请日期 |
1982.10.04 |
| 申请人 |
* VARIAN ASSOCIATES INC |
发明人 |
DONALD W * BERRIAN;BILLY W * WARD |
| 分类号 |
H01L21/30;H01J37/302;(IPC1-7):G05B15/02 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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