发明名称 DEVICE FOR TAKING AND FEEDING OF SEMICONDUCTOR PLATES TO CENTERING DEVICE
摘要
申请公布号 CS231564(B1) 申请公布日期 1984.12.14
申请号 CS19800005467 申请日期 1980.08.07
申请人 PERTHEN,HOLGER,DD;HOLPUSCH,GUENTHER,DD;BOHNA,WERNER,DD 发明人 PERTHEN,HOLGER,DD;HOLPUSCH,GUENTHER,DD;BOHNA,WERNER,DD
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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