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Eine Strahlschichtvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung schließt einen sich vertikal erstreckenden Zylinder; ein Bauteil mit abnehmendem Durchmesser, welches in dem Zylinder ausgebildet ist, einen Innendurchmesser aufweist, der nach unten nach und nach abnimmt, und eine Gaseinlassöffnung an seinem unteren Ende aufweist; und ein röhrenförmiges Teil, welches sich von der Kante der Gaseinlassöffnung nach unten erstreckt, ein. Eine Strahlschicht bildet sich in einer Behandlungszone, die von der oberen Oberfläche des Bauteils mit abnehmendem Durchmesser und der Innenwand des Zylinders oberhalb des Bauteils mit abnehmendem Durchmesser umschlossen wird.
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