发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5482165(A) 申请公布日期 1979.06.30
申请号 JP19770149237 申请日期 1977.12.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOKUBU SHIYOUEI;INABA KEIZOU
分类号 H01L21/22;H01L21/324 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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