发明名称 SAMPLE SLANTING EQUIPMENT OF SCANNING ELECTRON MICROSCOPE OR THE LIKE
摘要
申请公布号 JPS5413765(A) 申请公布日期 1979.02.01
申请号 JP19770079614 申请日期 1977.07.04
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 KASAHARA MOTOHISA
分类号 H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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