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发明名称 DEVICE FOR CHUCKING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS5390871(A) 申请公布日期 1978.08.10
申请号 JP19770006179 申请日期 1977.01.21
申请人 TOYO DENGU SEISAKUSHIYO KK 发明人 MIYAKE YOSHIKATSU
分类号 H01L21/683;H01L21/304;H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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