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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5323677(B2)
申请公布日期
1978.07.15
申请号
JP19710065399
申请日期
1971.08.26
申请人
发明人
分类号
G01L1/18;G01B7/16;G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84;H01L45/00;(IPC1-7):H01L45/00;G01B7/18
主分类号
G01L1/18
代理机构
代理人
主权项
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