| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE PATTERN IMAGING AND EXPOSURE SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3614423(A) |
申请公布日期 |
1971.10.19 |
| 申请号 |
USD3614423 |
申请日期 |
1970.09.21 |
| 申请人 |
STANFORD RESEARCH INSTITUTE |
发明人 |
LOUIS N. HEYNICK;EUGENE R. WESTERBERG |
| 分类号 |
G03G15/32;H01J37/12;H01J37/30;H05K3/02;(IPC1-7):H01J37/12 |
主分类号 |
G03G15/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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