发明名称 制作MESFET之方法METHOD FOR FABRICATING A MESFET
摘要 本发明提供一种金属半导体场效电晶体(MESFET)及其制造方法。该方法包括形成一n型通道部于一基底中及形成一p型通道部于该基底中。该n型通道部的一边界与该p型通道部的一边界系界定出一本质区域(intrinsicregion)于该基底中。
申请公布号 TW200733257 申请公布日期 2007.09.01
申请号 TW096100279 申请日期 2007.01.04
申请人 M/A商业公司 发明人 威斯洛 汤玛士 艾伦
分类号 H01L21/338(2006.01);H01L29/812(2006.01) 主分类号 H01L21/338(2006.01)
代理机构 代理人 陈传岳
主权项
地址 美国