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发明名称 VACUUM PROCESSING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070045887(A) 申请公布日期 2007.05.02
申请号 KR20060017592 申请日期 2006.02.23
申请人 HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 NAGAYASU NOBUO;KIHARA HIDEKI;KAWAGUCHI MICHINORI;OOHIRABARU YUUZOU
分类号 H01L21/02;H01L21/68 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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