发明名称 ELECTROSTATIC CHUCK BOARD
摘要
申请公布号 JPH0442791(A) 申请公布日期 1992.02.13
申请号 JP19900145295 申请日期 1990.06.05
申请人 NIKON CORP 发明人 SHIMIZU HIROYASU;NAKASUJI MAMORU;SUZUKI SHOHEI
分类号 H02N13/00 主分类号 H02N13/00
代理机构 代理人
主权项
地址