| 摘要 |
Eine Vakuumeinrichtung, insbesondere Vakuumpumpe, umfasst wenigstens ein Membranventil, über das ein Medium in einer Saugphase eingesaugt und/oder in einer Kompressionsphase ausgestoßen wird. Das Membranventil ist zur Unterstützung seiner Öffnungs- und/oder Schließbewegung magnetisch, elektromagnetisch, elektrisch oder elektrostatisch beaufschlagbar. |
