发明名称 场致发射器件和形成场致发射器件的方法
摘要 一种形成场致发射器件的方法,所得器件包括由纤维段形成的发射器。在纤维段上形成半径充分小的尖端,其方式是将所述尖端暴露至反应液体中一段时间。在所述尖端上包覆低功函数导电材料,以形成发射器。
申请公布号 CN100501498C 申请公布日期 2009.06.17
申请号 CN200480041577.1 申请日期 2004.12.10
申请人 汤寅生 发明人 汤寅生
分类号 G02B27/10(2006.01)I;G02B6/04(2006.01)I;C03B37/023(2006.01)I 主分类号 G02B27/10(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1. 一种形成包括发射器的场致发射器件的方法,包括:将多个束结到一起的纤维段的一端暴露至反应液体,使所述反应液体与所述纤维段反应,以形成束结到一起的尖端阵列;在所述尖端阵列上淀积导电材料以形成经包覆的尖端阵列;在所述经包覆的尖端阵列上淀积介电层;在所述介电层上形成栅电极;以及去除一部分所述介电层,以从所述经包覆的尖端阵列暴露经包覆的尖端的至少一部分。
地址 美国加利福尼亚州