| 摘要 |
본 발명은 각속도를 측정하는데 사용된 측정 디바이스에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 진동 마이크로-기계식 각속도 센서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 각속도 센서는 2개 또는 3개의 축에 대한 각속도를 측정하도록 구성되고, 각속도 센서의 적어도 2개의 진동 질량체(34 내지 36, 52 내지 53, 71 내지 75)는 공통 모드에 의해 1차 운동 진동으로 활성화되도록 구성된다. 본 발명에 따른 각속도 센서의 구조체는 특히 소형 크기의 진동 마이크로-기계식 각속도 센서에서 양호한 성능을 갖는 신뢰적인 측정을 가능하게 한다. |
