气密容器的制造方法

摘要

提供一种经改良的气密容器的制造方法。横过接合件的整个延伸方向测量接合件的每个位置的高度。控制计算机基于接合件在加热器加热位置的高度来确定加压缸使基板加压变形以便将恒定压力施加于基板和接合件之间的压力。接着，沿着接合件扫描一体固定的旋转体、加热器和加压缸。利用控制计算机计算的压力，驱动加压缸并在旋转体被旋转驱动的同时把该旋转体压向基板一侧，以便辐射利用加热器例如激光设备的光束。

主权项

1. 一种气密容器的制造方法，所述气密容器包括相对设置的一对基板、设在所述一对基板之间的框架件、以及使所述基板与所述框架件接合的接合件，所述方法包括：加热所述接合件以使所述基板与所述框架件接合的接合步骤，其中，所述接合步骤包括：沿着与所述基板垂直的方向测量所述接合件的高度的测量工序；以及沿着与所述基板平行的方向给所述接合件局部地加热加压的加热加压工序，以及其中，在所述加热加压工序中，基于所述接合件在所述加热位置的高度，调整所述接合件的加压力。