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发明名称 LACTAM COMPOSITIONS FOR CLEANING ORGANIC AND PLASMA ETCHED RESIDUES FOR SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 EP1212150(B1) 申请公布日期 2009.01.28
申请号 EP20000950373 申请日期 2000.07.17
申请人 EKC TECHNOLOGY, INC. 发明人 CHENG, JUN;SMALL, ROBERT, J.;PATEL, BAKUL, P.
分类号 B08B3/04;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/26;C11D7/28;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D7/60;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/3213 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
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