发明名称 FORMING METHOD FOR CONTACT PARTS IN PART OF SHALLOW DIFFUSED LAYER
摘要
申请公布号 JPS52154377(A) 申请公布日期 1977.12.22
申请号 JP19760071094 申请日期 1976.06.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWAMOTO HIROSHI
分类号 H01L21/033;H01L21/225;H01L21/336;H01L21/385;H01L29/08;H01L29/78 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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