SENSOR PACKAGE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

摘要

본 발명은 멤스(MEMS) 센서를 갖는 센서 패키지 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 센서 패키지는, 관 형상으로 형성되며 내부에 질량체가 배치되는 베이스 및 상기 베이스의 적어도 어느 한 단에 결합되어 상기 질량체가 배치된 공간을 밀봉하는 적어도 하나의 캡을 포함하며, 상기 베이스는, 상기 베이스가 실장되는 기판과 평행을 이루도록 배치될 수 있다.