发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6267853(A) 申请公布日期 1987.03.27
申请号 JP19850209386 申请日期 1985.09.20
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 OKODA TOSHIYUKI
分类号 H01L21/8226;H01L21/331;H01L27/08;H01L27/082;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/8226
代理机构 代理人
主权项
地址