发明名称 AUTOMATIC ARTICLE WASHING APPARATUS
摘要 PURPOSE:To provide the subject apparatus wherein a mask loader mechanism, a mask conveyor mechanism, a scrubbing device, a mask inverting mechanism and the like are all incorporated, whereby the washing of articles can be carried out efficiently.
申请公布号 JPS5396265(A) 申请公布日期 1978.08.23
申请号 JP19770009644 申请日期 1977.02.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 DOUNOMAE ITARU;MICHIZAWA SOUICHI;DAN MASAHIRO
分类号 B08B1/00;B08B7/04;G03F1/00;G03F1/82;H01L21/304 主分类号 B08B1/00
代理机构 代理人
主权项
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