| 发明名称 |
AUTOMATIC CHANGE-OVER DEVICE FOR UNIVERSAL CHUCK MECHANISM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH081464(A) |
申请公布日期 |
1996.01.09 |
| 申请号 |
JP19920181562 |
申请日期 |
1992.06.17 |
| 申请人 |
SHIBAYAMA KIKAI KK |
发明人 |
SEKIDA SABURO;TANAKA MAKIO |
| 分类号 |
B23Q3/08;H01L21/304;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):B23Q3/08 |
主分类号 |
B23Q3/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
