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发明名称 FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0964029(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950210896 申请日期 1995.08.18
申请人 CANON SALES CO INC;HANDOTAI PROCESS KENKYUSHO:KK 发明人 MAEDA KAZUO;TOKUMASU TOKU;YUYAMA YOSHIAKI
分类号 H01L21/31;C23C16/40;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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