| 发明名称 |
METHOD OF ANALYZING PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5218964(A) |
申请公布日期 |
1977.02.12 |
| 申请号 |
JP19760064882 |
申请日期 |
1976.05.31 |
| 申请人 |
KANEBO LTD |
发明人 |
KAJIURA TOSHIHIRO;MASAKI SENYOU;MORI MASAHIRO;SAKATA TOSHIBUMI;SHIMODA AKIHISA |
| 分类号 |
D04B15/78;D03C17/06;D04B15/66;D04B15/84;G01J3/46;G01J3/50;G02B27/00;G03F3/08;G06F17/50 |
主分类号 |
D04B15/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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